作者: 馬源劭 來源: 菏澤日報 發表時間： 2025-05-26 09:00
“全國那么多研發機構耗時七八年都沒研究出來，沒想到一個縣城企業做出來了。”這是中國科學院院士韓布興在一次科技成果評價會上，對成武易信環保科技有限公司（以下簡稱“易信環保”）硼同位素項目的高度評價。
據易信環保董事長趙東方介紹，該公司硼同位素分離與富集項目一舉攻克兩個“卡脖子”技術。一是在國內首次實現高豐度核級硼-10酸工業化量產。二是穩定量產的高端三氟化硼-11電子特氣（高純度、高豐度）填補國內市場空白，為半導體產業自主可控注入了國產之“氣”。
三氟化硼-11電子特氣，這個大眾較為陌生的名詞，卻堪稱芯片中的“血液”。高豐度、高純度三氟化硼-11是高端芯片、面板等半導體產業中重要的特種氣體材料，其豐度和純度直接決定芯片的良品率和性能。“在我們量產之前，高端三氟化硼-11（高豐度、高純度）只有國外的兩家公司能生產，我國長期依賴進口。”趙東方介紹。因技術受制于人，故而前幾年國外頻頻對我國半導體企業“斷氣”，令不少企業生產研發陷入僵局。
易信環保成立于2014年，最初的主營產品是環保增塑劑和飼料添加劑，2015年開始接觸硼同位素項目。中試成功后，2019年初，易信環保組建研發攻堅團隊，正式開啟了這場國產替代“從0到1”的突圍。不同于實驗室小試，工業化量產需要突破四大難關：工藝設計、制作設備、安裝以及調試。
“實驗室能做到95%豐度已是極限，但我們要突破99%，還要保證量產時品質穩定，難度極大。”趙東方說。因為國際上的技術封鎖，所以他們在研發時根本沒有同類參考，出現問題只能自己憑經驗想盡辦法解決。高校和科研院所的行業專家、相關的論文文獻、國內外的報道資料，都是他們的參考依據。但這些只能解決一些零星問題，系統性的難題還需要他們一個個去“死磕”。研發期間，整個團隊已數不清經歷過多少個不眠之夜。
“現在，全國都在期待著你們成功！”在2020年全國工業氣體行業年會上，一位業內專家緊握著趙東方的手鄭重地說。當時，易信環保的高端三氟化硼-11還未成功量產，但行業內都已經知道了這個敢啃硬骨頭的企業。“那一刻，我忽然感覺自己不是一個人或一個團隊在‘戰斗’。”趙東方說，也是從那時起，他背負上了一種神圣的使命、一份厚重的責任。
終于，在2023年9月，高端三氟化硼-11電子特氣成功實現達標量產。這次成功不僅是一家企業的成功，更是我國半導體產業又一次“挺起脊梁”。背后是趙東方團隊1700多個日夜的嘔心瀝血和9000多萬元的真金白銀。“我們是破釜沉舟，不破樓蘭終不還。”趙東方對于國產替代的執著從始至終。
菏澤也為這個項目“鉚足了勁”。“市委書記張倫曾專門批示相關部門要及時跟蹤我們這個項目的進展，做好相關服務。”趙東方說，國內從事硼同位素富集專業的高級技術人員較少，對口人員難以匹配，成武縣在國內外高校人才引進上給予了企業很大幫助。
在政策爭取上，有關部門第一時間幫助企業協調、申報。去年7月份，市工信局積極向上溝通，及時將易信環保硼-10酸項目先后錄入《省重點新材料首批次應用示范指導目錄》和《國家重點新材料首批次應用示范指導目錄》。在資格審定階段，全程跟蹤指導，組織專家協助企業完善申報材料，最終企業成功入選國家2024年首批次新材料保險補償項目名單。“我們公司的新材料保險費用可享受國家80%補貼，補貼額度達240萬元。”趙東方說。
目前，易信環保可穩定生產99.99%豐度、99.999%純度的三氟化硼-11電子特氣，同時硼-10酸的豐度可達99%、純度可達99.95%，產品已向國內相關企業供貨。
令人振奮的是，易信環保已經啟動二期規劃：擴建年產30噸三氟化硼-11氣體(含高純電子特氣）、年產100噸96%豐度硼-10酸生產線。“前段時間，一家臺資半導體企業找到我們，指名要99.99豐度的三氟化硼-11電子特氣。”趙東方說，隨著我國國產替代進程不斷加快，企業的發展前景廣闊，提高產能刻不容緩。
烈日高懸，云淡風輕，廠區一派繁忙。一輛輛運輸車陸續載著銀色鋼瓶駛向全國各地，瓶身上易信環保的標識熠熠生輝。可以預見，在不久的將來，一定會有越來越多的高端“中國氣體”在全球市場與國際頭部企業同臺競技。
記者 馬源劭
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